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真空等离子清洗机整个清洗过程与广泛应用于

真空等离子清洗机整个清洗过程大致如下:1)被清洗的工件送入真空式并加以固定,启动运行装置,开始排气,使真空室内的真空程度达到10Pa左右的标准真空度。一般排气时间大约需要几分钟。2)向真空室内引入等离子清洗用的气体,并保持腔内压强稳定。根据清洗材质的不同,可分别使用氧气、氩气、氢气、氮气、四氟化碳等气体。3)在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压,使气体被击穿,并通过辉光放电而发生等离子化和产生等离子体,让在真空室产生的等离子体完全笼罩住被处理工件,开始清洗作业,一般清洗处理持续几十秒到几十分钟不等。4)清洗完毕后切断电源,并通过真空泵将气体和气化的污垢抽走排出。

真空等离子清洗机整个清洗过程与广泛应用于(图1)

1.JINSHUDEHUOHUACHULI:


 JINGUANKENENGSHIDUIJINSHUJINXINGHUOHUACHULIDE,DANSHIJINSHUDEHUOHUAFEICHANGBUWENDING,GUCIYOUXIAOSHIJIANJIAODUAN。RUGUODUIJINSHUJINXINGLEHUOHUACHULI,ZEBIXUZAIJIFENZHONGHUOZHEJIXIAOSHIZHINEIJINXINGHOUXUJIAGONGCHULI(JIAOHE、TUQI...),YINWEIBIAOMIANHENKUAIJIUHUIYONGJIUXINGDEYUHUANJINGKONGQIZHONGDEWUWUJIEHE。ZUIHAOSHIZAILUOSHIZHURUXIHANHANJIEHUOZHEZHANJIEZHILEIDEGONGYIZHIQIANJINXINGJINSHUHUOHUACHULI。


2SULIAODEHUOHUACHULI:


ZHURUJUBINGXIHUOZHE PE ZHILEIDESULIAOJUNWEIFEIJIXINGJIEGOU。ZHEIYIWEIZHE,ZAIYINSHUA、PENQIHEZHANHEZHIQIANBIXUDUIZHEIXIESULIAOJINXINGYUCHULI。ZUOWEIGONGYIQITI,TONGCHANGSHIYONGGANZAOHEBUHANYOUDEYASUOKONGQI。


JIANGJIESHOUGUOCHULIDEGONGJIANHEWEIJIESHOUGUOCHULIDEGONGJIANJINRUSHUIZHONG(JIXINGRONGYE),HUOHUAXIAOGUOLINGRENYINXIANGJIQISHENKE。ZAIWEIJINGGUOCHULIDELINGBUJIANSHANG,XINGCHENGLEZHENGCHANGXINGZHUANGDEYEDI。JIESHOUGUOCHULIDELINGBUJIANDECHULIBUWEIZEWANQUANBEISHUISHIRUN。


3.KEYIDUIBOLIHETAOCIJINXINGHUOHUAMA?


BOLIHETAOCIDEBIAOXIANYUJINSHULEISI,BINGQIEHUOXINGCHULIDEYOUXIAOQIJIAODUAN。ZUOWEIGONGYIQITI,TONGCHANGSHIYONGYASUOKONGQI。


真空等离子清洗机广泛应用于

DENGLIZIQINGXI、KESHI、DENGLIZIDU、DENGLIZITUFU、DENGLIZIHUIHUAHEBIAOMIANGAIXINGDENGCHANGHE。TONGGUOQICHULI,NENGGOUGAISHANCAILIAOBIAOMIANDERUNSHINENGLI,SHIDUOZHONGCAILIAONENGGOUJINXINGTUFU、DUDENGCAOZUO,ZENGQIANGZHANHELI、JIANHELI,TONGSHIQUCHUYOUJIWURANWU、YOUWUHUOYOUZHI。


真空等离子清洗机最大技术特点是:它不分处理对象,可处理不同的基材,无论是金属、半导体、氧化物还是高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、据四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等高聚物)都可用等离子体很好地处理,因此,特别适合不耐热和不耐溶剂的基底材料。而且还可以有选择地对材料的整体、局部或复杂结构进行部分清洗。


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